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Bernex CVD 设备

Bernex 品牌的 CVD 设备是 CVD 涂层设备的高品质和高稳定性能的参考标准,自二十世纪七十年代以来,几乎所有的主要刀具生产商都选用Bernex 品牌CVD设备作为其涂层生产设备。如今, Bernex CVD 设备已在除了刀具的众多领域中使用,包括挤压与成型,零部件和医疗领域。同时,若干设计项目正在与主要的客商进行研究当中,这将有助于应用领域的进一步发展。

 
Bernex CVD BPX.

模块化设计

爱恩邦德的模块化设计使以往的客户能有选择性的更新和升级。

三氯化铝发生器
最新的三氯化铝发生器的设计是为了满足功能性,可靠性以及降低维修率设计的进一步需求。鉴于以往的机型和客户反馈的信息,这一全新的发生器已完全达到这一目标,发生器在特定的温度下精确控制沉积工艺温度范围为 900 ℃ ~1050 ℃的 Al 2 O 3 涂层沉积过程。

气体中和系统

同时该中和系统能更大的延长再次加液NaoH和重新洗刷的间隔时间。

气体净化系统
这一气体净化系统用来净化气体中的杂质,特别是氢气中 O 2 和 H 2 O ,从有效、经济、安全的角度使工业等级气体满足 CVD 工艺对气体纯度的要求。

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