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铝化化学气相沉积( CVA )设备

Bernex ATL Alurap(CVA) 铝化化学气相沉积设备适用于热区涡轮部件(像涡轮叶片和涡轮盘)的铝化扩散涂层。

在过去的十年里,燃汽涡轮的进气口温度由 1100 ℃升高到了1230 ℃(燃油混合空气)由燃油本身的温度高达 1550 ℃,由于此种高温和极为恶劣的运行条件,涡轮叶片(和热区零件)的表面涂层被开发从而得到耐磨损,耐疲劳,抗蠕变,耐腐蚀和抗高温氧化性能。

此设备尤其适合涂内部冷却管道,此种零件不能通过箱内固体渗铝,无箱固体渗铝或铝化浆液充填工艺进行处理。 Bernex ATL 工艺优越于其它的技术过程:

  • 减少铝化过程中的废料处理步骤
  • 提高弹性并控制活性反应物的活动,增加其它元素成份的改善涂层品质
  • 在处理过程后无需进行涂层清洗
  • 良好的铝化扩散层分布
  • 减少表面瑕疵

Bernex ATL Alurap 系统采用模块化设计以满足客户化需求,以下部件可单独供应客户可以用来进行设备升级:

  • 为提高产量,增加第二个反应器
  • 为涂内部管道需要额外气体管道连接
  • 高温处理所需的石墨件
  • HF 或 CF4 所使用的 FIC 模块
  • 硅掺合物
  • 高活性工艺(使用 AICI )过程中的内发生器
  • 铬化模块
  • 装料盘
  • 排风中和系统
  • 气体净化装置

全自动化的 Bernex ATL Alurap CVA 系统根据客户的需求提供不同设计的反应器。

Bernex ATL Alurap CVA成套设备系统将包含设备和成套工艺配方,从而使得客户马上能进行高温,航空燃汽涡轮零件的涂层生产。

  • 低活性渗铝过程
  • 高活性渗铝过程
  • 热处理
  • Hf 掺杂层
  • Zr 掺杂层
  • Si 掺杂层
  • 渗铬工艺
 
Bernex CVA equipment.

 

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